真空系統(tǒng)
?1個(gè)70 l/s 渦輪分子泵, 1個(gè)機(jī)械泵
? 專利的“穿過透鏡”的壓差真空系統(tǒng)
? 電子束在氣體區(qū)域的行程：10 mm或2 mm
? 可升級(jí)成無油機(jī)械泵
? 樣品室真空度(高真空模式) < 6e-4 Pa
? 樣品室真空度(低真空模式) < 10 to 270 Pa
? 典型換樣時(shí)間: 高真空模式≤150秒；
低真空及環(huán)境真空模式≤270秒(FEI標(biāo)準(zhǔn)測試程序)
樣品室
? 左右內(nèi)徑284 mm
?10 mm分析工作距離
?8個(gè)探測器/ 附件接口
?EDS采集角: 35°
樣品臺(tái)
?X/Y = 50 mm
?Z = 50 mm (其中馬達(dá)驅(qū)動(dòng)25 mm)
? 手動(dòng)傾斜：15°- to + 75°
? 連續(xù)旋轉(zhuǎn)360°
? 重復(fù)精度: 2 μm (X/Y方向)
? 全對(duì)中樣品臺(tái)
樣品座
? 多樣品座
? 單樣品座
? 適用于硅片或其它特殊要求的樣品座*
系統(tǒng)控制
? 基于Windows? XP 操作系統(tǒng)的32位圖形用戶界面，
? 鍵盤，光電鼠標(biāo)
?1個(gè)/2個(gè)* 19寸液晶顯示器, 分辨率1280 x 1024
? 軟件驅(qū)動(dòng)的輸入/輸出共享器*
? 游戲操縱桿*
? 多功能控制板*
圖像處理器
?SmartSCAN? 智能掃描技術(shù)
? 最大4096 x 3536像素
? 圖像文件格式：TIFF (8 or 16 bit), BMP or JPEG
?256 幀平均或積分
系統(tǒng)選項(xiàng)
? 減速模式
? 多功能控制板
? 支持計(jì)算機(jī)(包括第二個(gè)19寸液晶顯示器)
? 游戲操縱桿
? 樣品電流探測
? 遠(yuǎn)程診斷
? 視頻打印機(jī)
? 樣品座套件
? 機(jī)械泵隔音罩
?7針或52針電氣接口
? 波譜儀接口
? 更換成無油機(jī)械泵套件
通用第三方附件
? 能譜儀
? 波譜儀
?EBSD
? 冷臺(tái)
? 陰極熒光譜儀
? 樣品電流探測器
? 納米機(jī)械手
?CAD導(dǎo)航
? 電子探針臺(tái)
軟件選項(xiàng)
? 遠(yuǎn)程控制/觀察軟件
? 圖像分析軟件
? 基于Web的數(shù)據(jù)庫軟件
? 高度分布/粗糙度測量軟件
支持文檔
? 在線幫助
? 入門培訓(xùn)CD
?RAPID?(遠(yuǎn)程診斷軟件)
? 免費(fèi)連接到FEI用戶群在線資源庫
? 免費(fèi)加入FEI環(huán)境掃描用戶俱樂部